4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置
4.1.1 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定:
1 应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。
2 应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧。
3 应布置在厂区内环境清洁、人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。
4.1.3 洁净厂房与交通干道之间的距离宜大于50m。
4.1.4 洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路)，如有困难，可沿厂房的两个长边设置消防车道。
4.1.5 洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性能好、发尘少的材料。
4.1.6 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。
4.2 工艺平面布置和设计综合协调
4.2.1 工艺平面布置应符合下列要求:
1 工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
2 在满足生产工艺和噪声要求的前提下，空气洁净度等级高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。
3 洁净室内要求空气洁净度等级高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
4 应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。
5 不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时，宜设有防止污染的措施，如缓冲间、气闸室、传递窗等。
6 应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。
4.2.2 洁净厂房的平面和空间设计，应满足生产工艺和空气洁净度等级要求。洁净区、人员净化、物料净化和其它辅助用房应分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统各种技术设施的综合协调。
4.2.3 洁净厂房内应少设隔间，但在下列情况下应予分隔:
1 按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。
2 生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。
4.2.4 在满足生产工艺和空气洁净度等级要求的条件下，洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，应优先考虑净化空调系统的要求。
4.3 人员净化和物料净化
4.3.1 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其它用室。
4.3.2 人员净化用室和生活用室的设置应为:
1 人员净化用室，应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更洁净工作服等房间。
2 厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等其它用室，可根据需要设置。
4.3.3 人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求:
1 人员净化用室的入口处，应设净鞋措施。
2 存外衣和更洁净工作服应分别设置。
3 外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜，洁净工作服宜集中挂入带有空气吹淋的洁净柜内。
4 盥洗室应设洗手和烘干设施。
5 空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数每30 人设一台。洁净区工作人员超过5 人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。
6 当为5 级以上垂直单向流洁净室时，宜设气闸室。
7 洁净区内不宜设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。
4.3.4 人流路线应符合下列要求:
1 人流路线应避免往复交叉。
2 人员净化用室和生活用室的布置，宜按图4.3.4 的人员净化程序进行布置。

4.3.5 根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般宜按洁净区设计人数平均每人2～4m2 计算。洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜按低于相邻洁净区空气洁净度等级1～2 级设置。
4.3.6 洁净工作服洗涤室的空气洁净度等级不宜低于8 级。
4.3.7 洁净室内设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等特征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。
4.4 噪 声 控 制
4.4.1 洁净室内的噪声级(空态)，非单向流洁净室不应大于60dB(A)，单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。
4.4.2 洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压级值不宜大于表4.4.2 中的规定。

4.4.3 洁净厂房的平、剖面设计应考虑噪声控制要求。洁净室的围护结构应具有良好的隔声性能，并使各部分隔声量相接近。
4.4.4 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。
4.4.5 净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。洁净室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计。
4.4.6 净化空调系统，根据室内容许噪声级要求，风管内风速宜按下列规定选用。
1 总风管为6～10m/s。
2 无送、回风口的支风管为4～6m/s。
3 有送、回风口的支风管为2～5m/s。
4.5 微 振 控 制
4.5.1 对有微振控制要求的洁净厂房设计时应考虑:
1 在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面及顶棚连接处，应按微振控制要求设计。
2 洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及其连接管道，应采取主动隔振措施。
3 应确定洁净厂房内外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。
4.5.2 精密设备、精密仪器仪表的容许振动值，应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时，可参照《隔振设计规范》GBJ 22执行。
4.5.3 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应具备下列条件:
1 周围振源对其综合影响的振动数据。
2 设备、仪器仪表的型号、规格及轮廓尺寸图。
3 设备、仪器仪表的质量、质心位置及质量惯性矩。
4 设备、仪器仪表的底座外轮廓图、附属装置、管道位置及坑、沟、孔洞尺寸、地脚螺栓及预埋件位置等。
5 设备、仪器仪表的调平要求。
6 设备、仪器仪表的容许振动值。
7 所选用或设计的隔振器或隔振装置的技术参数、外形尺寸及安装条件。
4.5.4 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应考虑:
1 隔振台座的刚度。
2 设备、仪器仪表运行时，由于质量及质心位置的变化引起隔振台座倾斜的校正措施。
3 隔振系统各向阻尼比不应小于0.15。
4 隔振措施不应影响洁净室内的气流流型。
4.5.5 精密设备、精密仪器仪表的被动隔振措施宜采用能自动校正倾斜的空气弹簧隔振装置。对供应空气弹簧用的气源应进行净化处理。