8.1 一 般 规 定
8.1.1 气体管道的干管，应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时，应设在其上部。与本房间无关的管道不应穿过。
8.1.2 洁净室的气体管道及管架宜设装饰面板。当有可燃气体管道时，应敷设在装饰面板外侧，水平敷设时应在其顶部。
8.1.3 高纯气体管道设计应符合下列要求:
1 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于Φ6×1mm。
2 管道系统应尽量短。
3 不应出现不易吹除的“盲管”等死角。
4 管道系统应设必要的吹除口和取样口。
8.1.4 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。
8.1.5 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体还应符合本规范第8.4.2 条的要求。
8.1.6 气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度要求进行选择和配置。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。
8.1.7 气体过滤器应根据生产工艺对气体洁净度要求进行选择和配置。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。
8.1.8 进入洁净厂房的气体管道控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。
8.1.9 甲类火灾危险生产用气体入口室的设置，应符合下列规定:
1 毗连布置时，宜设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上一层靠外墙处。
2 应有良好的通风。
3 泄压面积和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ 16)、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》(GB 50058)的规定执行。
8.2 管道材料和阀门
8.2.1 气体管道材料和阀门的选用，应满足生产工艺对气体纯度、露点的要求和使用特点，并按气体性质，经技术经济比较后确定。
8.2.2 高纯气体管道和阀门应根据生产工艺要求，按下列规定选用:
1 气体纯度大于或等于99.999%， 露点低于-76℃ ， 应采用内壁电抛光的00Cr17Ni12Mo2Ti 低碳不锈钢管(316L)或内壁电抛光的0Cr18Ni9 不锈钢管(304)。阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀。
2 气体纯度大于或等于99.99%，露点低于-60℃，应采用内壁电抛光的0Cr18Ni9不锈钢管(304)。除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其它气体管道宜采用球阀。
8.2.3 干燥压缩空气露点低于-70℃，应采用内壁抛光的0Cr18Ni9 不锈钢管(304)；露点低于-40℃，宜采用0Cr18Ni9 不锈钢管(304)或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。
8.2.4 阀门材质宜与相连接管道材质相适应。
8.3 管 道 连 接
8.3.1 气体管道连接，应符合下列规定:
1 管道连接应采用焊接，但热镀锌钢管应采用螺纹连接。螺纹连接的密封材料应符合本规范第8.3.3 条的要求。
2 不锈钢管应采用氩弧焊，以对接焊或承插焊连接，但高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。
8.3.2 管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。
8.3.3 管道与阀门的连接，应符合下列规定:
1 高纯气体管道与阀门连接的密封材料，按生产工艺和气体特性的要求宜采用金属垫或双卡套。
2 螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氟乙烯。
8.4 安 全 技 术
8.4.1 下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机联锁:
1 甲类火灾危险生产的气体入口室。
2 管廊，上、下技术夹层或技术夹道内有可燃气体管道的易积聚处。
3 洁净室内使用可燃气体处。
8.4.2 可燃气体管道应设下列安全技术措施:
1 接至用气设备的支管和放散管，应设置阻火器。
2 引至室外的放散管，应设防雷保护设施。
3 应设导除静电的接地设施。
8.4.3 氧气管道应设下列安全技术措施:
1 管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理。
2 应设导除静电的接地设施。
8.4.4 气体管道应按不同介质设明显的标识。
8.4.5 各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1 瓶时，气瓶可设置在洁净室内，但必须采取不积尘和易于清洁的措施。